备案号：98338-2025

备案日期：2025-03-07

备案月报： 2025年第3号(总第299号)

本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试