标准状态
基础信息
- 标准号
- SJ/T 11638-2016
- 发布日期
-
2016-10-22
- 实施日期
-
2017-01-01
- 制修订
- 制定
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.030
- 技术归口
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 批准发布部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 无
- 标准类别
- 方法标准
备案信息
备案号:56755-2017
备案日期:2016-12-16
备案公告:
2017年第1号(总第205号)
起草单位
杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
尹云航、陈玉英、裴会川 等