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标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11638-2016
发布日期
2016-10-22
实施日期
2017-01-01
制修订
制定
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
标准类别
方法标准

备案信息

备案号:56755-2017

备案日期:2016-12-16

备案公告: 2017年第1号(总第205号)

起草单位

杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

尹云航、陈玉英、裴会川 等