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晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式PECVD设备
SJ/T 11829.1-2022
电子
现行
意见建议
目录
1
标准状态
2
基础信息
3
备案信息
4
起草单位
5
起草人
标准状态
发布
于 2022-10-20
实施
于 2023-01-01
废止
基础信息
标准号
SJ/T 11829.1-2022
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
制修订
制定
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31.55
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
无
标准类别
产品标准
备案信息
备案号:94236-2024
备案日期:2024-05-31
备案月报:
2024年第5号(总第289号)
起草单位
起草人