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标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11762-2020
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
制修订
制定
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31.55
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
标准类别
基础标准

备案信息

备案号:80908-2021

备案月报: 2021年第3号(总第251号)

适用范围

适用于半导体设备制造信息标识

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

起草人

冯亚彬、程朝阳、钟华 等