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标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11763-2020
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
制修订
制定
中国标准分类号
L 95
国际标准分类号
31.55
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门
工业和信息化部
行业分类
标准类别
基础标准

备案信息

备案号:80909-2021

备案月报: 2021年第3号(总第251号)

适用范围

适用于半导体制造设备

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等